產(chǎn)品[
PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
]資料
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產(chǎn)品名稱:
PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
產(chǎn)品型號:
PBZ-CL007V
產(chǎn)品展商:
其它品牌
關(guān)注指數(shù):3297
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PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
的詳細(xì)介紹
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概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
- FDN算法
高精度的邊緣檢測*1
- 針對檢測面污垢會影響檢測精度的課題，配置了線性圖像傳感器和光量衰減報警功能。
- 透明物體檢測用算法
可穩(wěn)定檢測透明物體。
- 標(biāo)準(zhǔn)雙通道輸入控制器
可進行雙檢測值運算，減少布線工作量，節(jié)省空間。
- RS-485通信(僅對應(yīng)PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可將數(shù)據(jù)傳輸至PLC及觸摸界面。
- **性能
JIS 1級光束。不需要任何特別保護措施。
- 多功能
可忽略薄膜不規(guī)則部分的干擾消除功能*2
玻璃基板對準(zhǔn)時傾斜度θ計算功能*3
通過位置變化檢測功能可檢測出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重復(fù)精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. **于 PBC-201VN0/2
*3. **于 PBC-203VN2
測定內(nèi)容
| 控制器型號 |
邊緣位置測定
(透明體或不透明體)
 |
遮光寬度測定
 |
間隙測定
 |
| 7 mm傳感器頭用PBC-201VN0 |
○
|
―
|
―
|
| 7 mm傳感器頭用PBC-201VN2 |
○
|
○
|
○
|
| 30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2 |
○
|
―
|
―
|
重復(fù)精度 ±1 μm* — 準(zhǔn)確檢測出真實的邊緣位置
*PBZ-CL007V的重復(fù)精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復(fù)精度為±5 μ。檢測條件請參照規(guī)格。
- 菲涅爾衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會發(fā)生衍射。受光部衍射光的強度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離(WD)。
不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響
配置了“光強度衰減報警功能”，到了維修時期便會發(fā)出警報。
- 傳統(tǒng)方式(PD)
因遮光引起受光量的減少，使PD的線性輸出發(fā)生變化。這種傳統(tǒng)的PD方式，由于受光面污垢（或檢測物透明度）造成受光光量衰減，使輸出值發(fā)生變化。所以，為了防止污垢，需要進行空氣吹掃。
- 本公司的線性圖像傳感方式
根據(jù)各像素的亮度信息，測出遮光寬度。即使受光光量衰減，只要線性圖像傳感器的入光量不變，邊緣位置的輸出值就不會變化。
干擾消除功能
不檢測標(biāo)簽等凸起物，只檢測薄膜的邊緣。
將當(dāng)前的測定值與設(shè)定時間（輸出延遲時間）前的數(shù)值進行比較，如果變化量超過了設(shè)定值（跳讀設(shè)定值），則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。
θ演算功能
缺口檢測功能（位置變化輸出）
應(yīng)用
- 檢測晶圓的偏芯和缺口位置
能夠穩(wěn)定檢測透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且，由于采用了線性圖像傳感方式，因此還能越過視孔進行檢測。
- 檢測薄膜蜷曲
通過使用2對傳感器探頭計算傳感器探頭間的輸出值，可同時檢測薄膜蜷曲和薄膜寬度。
- 檢測玻璃基板凹凸和裂痕
利用位置變化檢測功能，可檢測到傳送帶上的玻璃基板邊緣的缺口和裂痕。
- 測定玻璃基板的XYθ
利用3對傳感器，除了能計算玻璃基板的X和Y值外，還能通過內(nèi)部演算計算出θ值。
規(guī)格
| |
平行激光束類型
|
|
傳感器
|
控制器
|
傳感器
|
控制器
|
| 型號 |
PBZ-CL007V
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PBC-201VN0
|
PBC-201VN2
|
PBZ-CL030H
|
PBZ-CL030V
|
PBC-203VN2
|
| 檢測寬度 |
7 mm
|
30 mm
|
| 測定距離 |
10 - 300 mm
|
10 - 500 mm
|
| 工作距離(WD) |
10 - 290 mm
|
10 - 490 mm
|
| 移動精度 |
±20 μm *大*1
|
±50 μm *大*3
|
| 重復(fù)精度 |
±1 μm *大*2
|
±5 μm *大*4
|
| 模擬輸出更新周期 |
―
|
500 μs
|
―
|
10 ms
|
| 傳感部溫度特性 |
0.1 % FS/°C
|
―
|
0.1 % FS/°C
|
―
|
| 使用溫度范圍 |
0 - 45°C
|
| 使用濕度范圍 |
30 - 85 % RH
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| 電源電壓 |
―
|
24 Vdc ± 10 %
|
―
|
24 Vdc ± 10 %
|
| 模擬輸出 |
―
|
1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出
|
―
|
1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 輸出
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| 事件輸出 |
―
|
同步型晶體管輸出：4 點
|
―
|
同步型晶體管輸出：4 點
|
| 外部輸入 |
―
|
2
|
―
|
2
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| 數(shù)字顯示 |
―
|
7段4位
|
―
|
7段4位
|
| 光源 |
可視半導(dǎo)體激光: JIS 1級
|
―
|
可視半導(dǎo)體激光: JIS 1級
|
―
|
| 保護結(jié)構(gòu) |
IP40
|
―
|
IP40
|
―
|
| 通信 |
―
|
―
|
RS-485
|
―
|
RS-485
|
| 傳感器探頭與控制器間的纜線總長度 |
*大 5 m
|
*大 30 m
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上述規(guī)格是檢測物體和邊緣方向被設(shè)定為“不透明體TOP”或“不透明體BOTTOM”時的數(shù)據(jù)。其他設(shè)定時，請與本公司聯(lián)系。
*1. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*2. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±3.5 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
*3. 投受光器間距離=100 mm，工作距離=50 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±0.5 mm時。
*4. 投受光器間距離=20 mm，工作距離=10 mm，檢測物位置=從測定寬度中心位置移動±15 mm的條件下，重復(fù)20次的平均值。
工作距離(WD): 受光器與檢測物之間的距離
